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        集束型薄膜沉積系統

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        集束型薄膜沉積系統

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        參數

        集束型薄膜沉積系統是專為集成電路先進制造工藝開發的薄膜沉積系統,標配8英寸樣品托,可兼容12英寸??纱钶dALD、PECVD、PVD等工藝系統,控制面板可分立或集成,設備可穿墻安裝

        關鍵詞:
        集束
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