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        熱烈祝賀科民電子20套集成電路設備成功進入廈門大學產教融合平臺

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        熱烈祝賀科民電子20套集成電路設備成功進入廈門大學產教融合平臺

        科民電子集成電路產教融合成套設備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺
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                                 廈門大學國家集成電路產教融合創新平臺


          科民電子集成電路產教融合成套設備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺,助力廈門大學實現集成電路產教融合,培養高端集成電路工程人才。

        ALD可更換雙腔結構,勻氣內腔,快速反應,反應溫度500

        PVD無壓環進口靶腔,自動匹配

        曝光機集成度高,365nmLED光源,1μm曝光精度,操作方便

        ICP刻蝕機全自動樣品傳輸系統,自動匹配

        關鍵詞:
        曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機
        未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
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