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科民電子原子層沉積系統通過大規模產線驗證
- 分類：公司新聞
- 發布時間：2016-10-25
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【概要描述】近日，嘉興科民電子設備有限公司生產型原子層沉積設備成功通過大型微電子、MEMS制造企業產線驗證，成為國內首個進入大批量制造產業化市場的原子層沉積機型。
科民電子原子層沉積系統通過大規模產線驗證
【概要描述】近日，嘉興科民電子設備有限公司生產型原子層沉積設備成功通過大型微電子、MEMS制造企業產線驗證，成為國內首個進入大批量制造產業化市場的原子層沉積機型。
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具有LOAD-LOCK腔室的ALD機臺
近日，嘉興科民電子設備有限公司生產型原子層沉積設備成功通過大型微電子、MEMS制造企業產線驗證，成為國內首個進入大批量制造產業化市場的原子層沉積機型。
雙方工程師在ALD設備前合影留念
在生產線上，工廠技術人員及科民駐廠工程師對該機型進行了3個月的嚴格驗證。均勻性、重復性、溝槽覆蓋性、顆粒度、生產效率、可靠性等方面的測試均表明，科民電子原子層沉積系統的設備質量和技術指標達到了國際領先水平，足以滿足大批量連續生產的需要。
科民電子原子層沉積系統在大規模生產線的成功驗證，打破了進口設備在產業化市場的壟斷地位，替代了相關行業的進口設備，是微電子、MEMS、光伏、LED等行業技術創新和產業升級的重要動力。
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中科院理化所領導考察嘉興科民電子
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